16.12.2025

НИИМЭ и НИИТМ разработали оборудование для техпроцесса 65-нм на пластинах до 300 мм

Научно‑исследовательские институты НИИМЭ и НИИТМ, входящие в Группу компаний «Элемент», MOEX:ELMT, завершили разработку и сборку первых в РФ кластерных систем для процессов плазмохимического осаждения (ПХО) и травления (ПХТ).

Установки дадут возможность выпускать интегральные микросхемы по топологическим нормам 65 нм на пластинах 200 мм и 300 мм.

Как рассказали на странице «Карьера в НИИМЭ: наука, исследования, разработки» в соцсети vk, российские организации вошли в пятерку компаний в мире, обладающих компетенциями в разработке и производстве данного класса технологического оборудования.

Головным исполнителем проекта стал НИИМЭ, обеспечивший строительство чистых производственных помещений (ЧПП), монтаж и подключение опытных образцов оборудования в ЧПП, разработку технологических процессов и испытание оборудования. Основной соисполнитель - НИИТМ, его специалисты разработали само оборудование, а также приняли участие в проведении испытаний.

Замминистра промышленности и торговли Василий Шпак уточнил, что создание первых российских кластерных систем для ПХО и ПХТ – это важный практический результат. Установки для уровня 65 нм на пластинах 300 мм обеспечат в том числе перспективную потребность отечественной микроэлектроники. Особую ценность представляет модульность платформы (она дает возможность отрабатывать процессы на существующем оборудовании и служит основой для перехода к более тонким техпроцессам). Данный проект показывает, что кооперация наших научных институтов и промышленности может решать сложные технологические задачи.

В настоящее время техпроцессы с топологическими нормами 28-90 нм на мировом рынке обеспечивают наиболее массовый выпуск микросхем для автомобильной и авиакосмической промышленности, систем автоматизации и управления.

По словам гендиректора НИИМЭ А. Кравцова, вхождение в мировой топ обладателей технологии кластерных систем для микроэлектроники — это одновременно и колоссальное достижение, и серьезная ответственность перед отечественными разработчиками. Создание российских кластерных систем для ПХО и ПХТ стало ключевым этапом на пути к технологической самостоятельности отечественной микроэлектроники; заложена основа для дальнейшего развития.
  Версия для печати